기상 성장 장치

Gaseous phase growing device

Abstract

본 발명은 기상 성장 중에 생기는 미립자의 부착이나 결정 결함의 형성을 저감시킬 수 있는 기상 성장 장치를 제공한다. 반응 용기(11)내에 실리콘 웨이퍼(20)를 배치하는 서셉터(12)를 구비하고, 이 서셉터에 포켓부(12a)를 형성하는 동시에, 이 포켓부에 설치된 관통 구멍(12b)에 삽입되어 리프트 핀(l3)이 슬라이딩 자유롭게 배치되고, 리프트 핀을 승강시켜 실리콘 웨이퍼의 이면(21)과 접촉ㆍ분리시킴으로써, 서셉터 상에서의 실리콘 웨이퍼의 착탈을 행하도록 기상 성장 장치(10)를 구성하고, 리프트 핀의 서셉터와의 슬라이딩면에 연마를 실시한다.

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    KR-20160082134-AJuly 08, 2016한국기계연구원, 주식회사 넥스트론고온 국부가열 방식의 서셉터 및 이를 갖는 히팅 장치
    WO-2016148385-A1September 22, 2016(주)코미코Broche de levage et son procédé de fabrication